軟管泵在半導體行業(yè)的應(yīng)用

軟管泵在半導體行業(yè)的應(yīng)用
中國是世界上的電子產(chǎn)品制造國，也因此成為世界上的半導體消費國，約占全球消耗量的40.5%。現(xiàn)在半導體企業(yè)已把技術(shù)含量相對較低、勞動密集型的產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)向我國轉(zhuǎn)移，我國半導體產(chǎn)業(yè)已成為產(chǎn)業(yè)鏈的一環(huán)。2014年中國大陸集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額預(yù)計增速將超過18%，產(chǎn)業(yè)規(guī)模超過2,500億元，其中集成電路設(shè)計增速將超過30%，子產(chǎn)業(yè)規(guī)模進一步提升至810億元，全行業(yè)占比提升至32%左右。

“十二五”期間，中國正在試圖重拾為期20年的芯片行業(yè)發(fā)展規(guī)劃，宣布在2010-2020年300億美元用于半導體設(shè)計與制造。地方各級也計劃同期250億到300億美元。

半導體行業(yè)工藝流程---IC產(chǎn)業(yè)?

晶圓制作流程?

VERDERFLEX軟管泵在該行業(yè)中，主要應(yīng)用在晶圓、芯片、IC、LED、TFT-LCD廢 水 處 理 系 統(tǒng)中的加環(huán)節(jié)。

半導體制作過程會產(chǎn)生大量的廢水，必須小心的處理，以免危害環(huán)境。一般而言，廢水的來源可以分成制造廢水、超純水的制造排水與排氣洗凈水等三大類。如果依性質(zhì)分類課可以分成酸堿廢水、含氟廢水、物廢水，研磨廢水與重金屬廢水等五類。

廢水處理系統(tǒng)使用多的是化學沉淀法 ：

化學沉淀法為利用法學劑與溶解的離子發(fā)生法學反應(yīng)產(chǎn)生不溶解性沉淀物，含氟廢水的處理即利用鈣離子與氟離子發(fā)生反應(yīng)結(jié)合成氟化鈣粒子沉淀去除之。

主要化學反應(yīng)式： Ca2+ + 2F- → CaF2↓ Ksp = 3.4*10-11

為了降低氟離子殘存濃度，一般可以提高所添加的鈣濃度以預(yù)期處理效果。鈣離子的選用來源可以由石灰石、消石灰、氯化鈣等提供。

所添加的石灰石、消石灰、氯化鈣等劑則需要由VERDERFLEX軟管泵輸送。